Dünyanın en iyi stylus yüzey profilometreleri
Bruker’in Dektak® stylus profilometreleri, 40 yılı aşkın bir süredir tescilli teknolojik ilerlemelerin bir ürünüdür. Çeşitli yüzeylerde, geleneksel 2 boyutlu pürüzlülük karakterizasyonu ve basamak yükseklik ölçümleri, gelişmiş 3 boyutlu haritalama ve film stres analizleri gibi ölçümlerin tekrarlanabilir ve doğru olmasını sağlamaktadırlar.
Dektak yüzey profilometreleri, ince film kalınlığı, stres ve yüzey pürüzlülüğünü ölçmek için Dünyada üstün bir çözüm olarak kabul edilmiş ve eğitim amaçlı araştırmadan, yarı iletken süreç kontrolüne kadar çeşitli uygulamalarda kullanılmaktadırlar. Son zamanlarda, Dektak profilometreleri, büyüyen fotovoltaik pazarı için üstün karakterizasyon araçları olarak hizmet vermiş ve birçok büyük fotovoltaik hücre/panel üreticileri tarafından benimsenmiştir.
DektakXT
Bruker’ın DektakXT® Stylus Profilometresi, 4 angstromlük tekrarlanabilirlik sağlayan devrim niteliğinde bir tasarıma sahiptir. Stylus profiler performansındaki bu önemli dönüm noktası, kırk yıllık Dektak® inovasyon ve endüstri liderliğinin doruk noktasıdır. Endüstri alanında ilk olması nedeniyle, DektakXT, R&D den kalite kontrole kadar farklı alanlarda en iyi süreç takibi sağlamak için üst seviye performans ve kullanım kolaylığı sunmaktadır. Dektak’a dahil edilen teknolojik gelişmeler, mikroelektronik, yarı iletken, fotovoltaik, yüksek-parlaklıklı LED, medikal ve malzeme bilimi endüstrileri için kritik nanometre seviyesi yüzey ölçümlerini mümkün kılmaktadır.
Dektak XTL
Dektak XTL stylus profiler, çok çeşitli uygulamalar için son derece hassas, tekrarlanabilir ve tekrar edilebilir metroloji sunar. Boyutları, 350mm x 350mm’ye kadar olan örnekler ile çalışabilme yeteneği ile bu sistem, 200mm ve 300mm’lik wafer üretiminde efsanevi Dektak performansı sunmaktadır. Dektak XTL, üretim atmosferinde kullanılabilmesi için kilitlenebilen kapılara ve entegre izolasyona sahiptir. Çift kameralı mimariye ve yüksek düzeyde otomasyona sahip olması sayesinde wafer üretim verimliliğini artırır.
